NEG
Maschine - Vakuum
NEG
NEG-Beschichtungsanlagen
Vorteile
- kompaktere Bauweise
- hohe mechanische Stabilität
- minimaler Abstand zwischen Pumpe und Kammer
- keine Pumpschlitze/Pumpspalt
- symmetrische Kammerkontur
- Vorteile für Strahloptik
- einfachere Anbauteile
- geringere spezifische Desorptionsrate → Desorptionssperre
- Durchschnittlicher Enddruck bis in den XUHV-Bereich
Nachteile
- hoher Anlagenaufwand & hohe Herstellungskosten
- (bei geringer Stückzahl)
- geringe Kapazität (Sättigung)
- empfindlich gegenüber Verunreinigungen
- langes in-situ-Ausheizen
Was wird beschichtet?
Beispiel PETRA III PU1 10m-Undulator
Wie wird beschichtet?
Sputterprinzip
Hebevorrichtung & Kammerhalterung
Beispiel PETRA III PU1 10m-Undulator
Anlage
Elektronik
Sputterprozess
- Ausheizung 150°C, 24h
- NEG-Coating (100°C)
- Schichtdicke d = 0,5-1,0µm
- Arbeitsdruck (Kr) p ≈2x10 -2
- Sputterzeit für 1µm/m t ≈ 8h
- NEG-Test Aktivierung 180°C, 24h
Qualitätssicherung & Prozessüberwachung
